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    点击次数:2407  更新时间:2013-03-27   【打印此页】  【关闭

     

    中文名:高纯硅烷


    英文名:
    High purity silane


    分子式:
    SiH4


    外观状态:
    在常温常压下为无色、有毒、非常活跃的压缩气体。

    产品纯度:
    99.9999%


    性:
    稳定


    包装说明:
    47LDOT钢瓶


    容器规格

    容器尺寸 (cm)

    平均重量 (kg)

    阀门/螺纹出口 

    充装量

    49LDOT硅烷钢瓶

    23×140

    70

    CGA350/Diss632

    10kg15kg

    440L硅烷Y

    60×180

    390

    CGA350/Diss632

    125kg

     

        途:


    ⑴高纯硅烷跟
    高纯氨气一起用于生产太阳能薄膜电池将硅分子附着于电池表面。


    ⑵跟
    高纯乙烯一起用于LOW-E镀膜玻璃的生产。


    ⑶高纯硅烷应用于大规模集成电路的外延生长工艺中用作硅源。


    ⑷应用于国防、军事工业的研发、生产。


    ⑸硅烷在平板显示生产中也有重要的用途。


    ⑹用于低温二氧化硅
    CVD、用于氮化硅CVD

     

    物理化学性质:


    分子量:
        32.118
    熔点(101.325kPa)    -185.0
    沸点(101.325kPa)    -111.5
    液体密度(-185)    711kg/m3
    气体密度(0100kPa)    1.42kg/m3
    相对密度(气体,空气=120101.325kPa)1.114
    比容(21.1101.325kPa)    0.7518m/kg
    气液容积比(15100kPa)412L/L
    临界温度:    -3.4
    临界压力:4843kPa
    临界密度:    242kg/m3
    熔化热(-186.40<0.1kPa)  24.62 kJ/kg
    气化热(-111.40101.325kPa)342.89kJ/kg
    比热容(气体,25101.325kPa)  Cp=1333.96 J/(kg·K)
    蒸气压(-168)    1.33kPa
          (-60)    1040kPa

          (-10)    4150kPa

    粘度(101.325kPa0)0.0108mPa·S
    表面张力(-111.4101325kPa)15.11mN/m
    导热系数(101.325kPa0)0.01918 w/(m·K)
    爆炸界限:0.8%98%
    火灾危险度:   

     

    注意事项:

     

    使用硅烷的工作场所要通风,保持室内空气干燥。硅烷装置要严格密封,避免和空气、水分相接触,为此,用气装置在使用前要用惰性气体置换里面的空气后抽真空,这样反复进行置换和抽真空,一定要彻底清除系统中的空气和水分。装置使用以后,也要用惰性气体置换清洗系统中的硅烷。可以用氦探漏器探漏。少量硅烷泄漏时,从氧化硅粉末的折出中也可以得知。钢瓶要存放在阴凉干燥通风良好之处,要远离热源和氯、溴等氧化剂。工作场所要配备足够的防护用品及应急用品。硅烷本身无腐蚀性,可以使用碳钢、不锈钢、铜、黄铜、蒙乃尔、耐蚀镍基合金。也可用聚四氟乙烯、聚三氟氯化乙烯聚合体、尼龙、三氟氯乙烯树脂、聚乙烯、聚酯、石英玻璃。不能用铅、橡胶、脂肪、润滑油、玻璃。凡是可燃性的有机高分子材料应该避免使用。当硅烷大量泄漏时。紧接着就要着火,所以无法用灭火器灭火。但是可以控制火势,使火灾不向周围蔓延。燃烧时辐射热不太高,所以应尽可能去关闭阀门以止住气体的流出。可用白雪石粉或石墨粉熄火。废气可用水或碱吸收,或者在特殊燃烧器中燃烧成SiO2之后用专门的过滤器捕捉。储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不宜超过30。应与易(可)燃物、氧化剂分开存放,切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。密闭操作,局部排风。操作人员必须经过专门培训,严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴过滤式防毒面具(半面罩)。远离易燃、可燃物。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂接触。搬运时轻装轻卸,防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处理设备。

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