化学性质：

高纯硅烷是一种无色、与空气反应并会引起窒息的气体。该气体通常与空气接触会引起燃烧并放出很浓的白色的无定型二氧化硅烟雾。它对健康的首要危害是它自燃的火焰会引起严重的热灼伤，如果严重甚至会致命。如果火焰或高温作用在硅烷钢瓶的某一部分会使钢瓶在安全阀启动之前爆炸。如果泄放硅烷时压力过高或速度过快会引起滞后性的爆炸。泄漏的硅烷如没有自燃会非常危险，不要靠近。处理紧急情况的人员必须要有个人防护设备和适应当时情况的防火保护。不要试图在切断气源之前灭火。 

用途

高纯硅烷跟高纯氨气一起用于生产太阳能薄膜电池将硅分子附着于电池表面

跟高纯乙烯一起用于LOW-E镀膜玻璃的生产

高纯硅烷应用于大规模集成电路的外延生长工艺中用作硅源

应用于国防、军事工业的研发、生产

硅烷在平板显示生产中也有重要的用途

用于低温二氧化硅CVD、用于氮化硅CVD